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ステッパー (ステッパー)

ステッパーとは、Step&Repeat(精密な位置合わせと露光を繰り返すこと)を語源とする、IC、LSI等半導体の製造過程における縮小投影型露光装置のこと。具体的には、シリコンなどのウェハに回路を焼きつけるためウェハー上にレジストを塗布し、レチクルのパターンを投影レンズにより1/4から1/5に縮小しウェア上をステップ(移動)しながら投影露光する。ステッパーは、IC製造における超微細加工の要といえるフォトリソグラフィの中核的装置。

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